利用超聲波頻率高(高于20000Hz),波長短，能量高、穿透能力強、能定向傳送且在界面上產生反射和折射及波形轉換等特性而進行材料內部缺陷檢測的方法。檢測時超聲波由探頭傳入工件并按一定方向傳播;若遇異質界面(如缺陷），超聲波就會產生反射。反射波被探頭接收后,就會在熒光層上形成沖擊波形。根據波形可判斷有無缺陷及其位置和大小。